一种直拉单晶隔热装料方法及其装置
基本信息
| 申请号 | CN201010301244.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101760773B | 公开（公告）日 | 2011-11-09 |
| 申请公布号 | CN101760773B | 申请公布日 | 2011-11-09 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 周锐 | 申请（专利权）人 | 西安隆基新能源有限公司 |
| 代理机构 | 西安弘理专利事务所 | 代理人 | 西安隆基硅材料股份有限公司;西安隆基硅技术有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;西安矽美单晶硅有限公司;中国三峡新能源有限公司 |
| 地址 | 710100 陕西省西安市长安区航天中路388号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种直拉单晶隔热装料方法，该方法按照以下步骤具体实施：1)单晶炉拆炉后，将主室炉筒、主保温筒和石墨加热器等炉体及热场石墨器件上的挥发物打扫干净；2)在主保温筒上端面安放隔热大盖；3)将石墨坩埚及石英坩埚依次放置于石墨托杆上，开始装入单晶原料；4)装料完毕后，在石英坩埚上盖上护料盖；5)再将隔热大盖取出，去掉护料盖，即可合炉抽空加热，开始下一炉次的单晶拉制。本发明还公开了一种隔热装料装置，其中的隔热大盖选用固态石墨毡、硅酸铝陶瓷纤维制品、硅酸钙制品或石墨制品。本发明的方法及其装置，通过增加隔热大盖的设置，阻隔热场挥发气流，在不冷却热场情况下实现装料过程；有效防止掉料事故发生。 |
