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一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具

基本信息

申请号 CN202110816383.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113911726A 公开（公告）日 2022-01-11
申请公布号 CN113911726A 申请公布日 2022-01-11
分类号 B65G47/91（2006.01）I;G01N21/88（2006.01）I;G01B11/02（2006.01）I 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 富良;胡彪;洪育军;方正兵;汤红琴 申请（专利权）人 杭州聚导科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 311254浙江省杭州市萧山区所前镇新光路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其包括底板、支板、搬运组件和检测组件，所述底板上固定设置有所述支板，所述支板上固定开设有第一滑槽和第二滑槽，所述搬运组件滑动设置在所述第二滑槽中，所述第一滑槽中摆动设置有所述检测组件，所述支板的一侧固定设置有第一伺服电机，所述第一伺服电机推动搬运组件移动的同时带动所述检测组件摆动,本装置通过第一伺服电机推动推板从而可以推动搬运组件搬运门板，在第一伺服电机推动推板的同时，推板对齿条进行推动从而通过齿轮来传动给检测组件，通过连杆传动最终实现摆杆带动检测器在门板搬运的同时进行多次检测，保证检测数据准确，无需后期再次对门板进行单独检测。