一种采用统计过程控制晶圆加工的方法
基本信息
| 申请号 | CN202210357701.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114781835A | 公开（公告）日 | 2022-07-22 |
| 申请公布号 | CN114781835A | 申请公布日 | 2022-07-22 |
| 分类号 | G06Q10/06（2012.01）I;G06Q10/00（2012.01）I;G06Q50/04（2012.01）I;G07C3/14（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 孙俊杰;付斌 | 申请（专利权）人 | 江苏道达智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州德坤知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 211100江苏省南京市江宁开发区南佑路7号翠屏科创大厦五层楼5028-1房间（江宁开发区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种采用统计过程控制晶圆加工的方法，包括统计过程控制单元、数据库和反馈单元，统计过程控制单元具有数据处理模块和判断模块，统计过程控制单元读取数据库内的数据，先将加工工艺数据以及标准的晶圆设计参数；然后进行划分匹配同时制定调整规则；接着通过判断模块将检测数据与晶圆设计参数进行判断比较，比较结果按照符合程度分为接近标准、符合标准和不良，根据接近标准、符合标准和不良的比较结果进行反馈，需要调整则将晶圆设计参数对应加工工艺数据根据调整规则进行调整，形成新的加工工艺数据；新的加工工艺数据通过反馈单元反馈至加工单元并执行。本发明通过统计过程控制保证晶圆加工品质。 |
