一种多维度监控的物料传输控制方法

基本信息

申请号 CN202210359025.5 申请日 -
公开(公告)号 CN114783912A 公开(公告)日 2022-07-22
申请公布号 CN114783912A 申请公布日 2022-07-22
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H04N5/76(2006.01)I;G06K17/00(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 孙俊杰;付斌 申请(专利权)人 江苏道达智能科技有限公司
代理机构 苏州德坤知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 211100江苏省南京市江宁开发区南佑路7号翠屏科创大厦五层楼5028-1房间(江宁开发区)
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种多维度监控的物料传输控制方法,包括中央处理器、主控单元、称重单元、图像捕获单元、阅读器和电子标签;所述主控单元、称重单元和阅读器设置在集成底座上;电子标签固定在运送晶圆的载具上,用于记录物料传输数据;载具与集成底座可拆卸连接,且载具与集成底座同步运输;称重单元用于测量载具内物料的重量并得到重量数据;图像捕获单元固定在运送晶圆的载具上,用于拍摄载具内部及周边的影像,得到影像数据;主控单元通过阅读器对电子标签进行读写,主控单元还对重量数据及影像数据进行处理并与中央处理器信息交互并上传。本发明能够对物料的整个传输过程进行监控和警示,便于快速处理。