单晶硅提拉用坩埚系统
基本信息
| 申请号 | CN202110308848.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113046824A | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN113046824A | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | C30B15/12 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 朱苏华;周娩红 | 申请（专利权）人 | 湖南世鑫新材料有限公司 |
| 代理机构 | 长沙市融智专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 谢浪 |
| 地址 | 412007 湖南省株洲市天元区仙月环路899号新马动力创新园2-1期D栋研发厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种单晶硅提拉用坩埚系统，旨在不破坏碳基坩埚的情况下，实现与石英坩埚的分离。该单晶硅提拉用坩埚系统包括用于盛装多晶硅的石英坩埚以及匹配套在所述石英坩埚外的碳基坩埚，所述碳基坩埚上设有若干预留通孔，每个所述预留通孔中均匹配设有所述缓冲堵塞，每个所述缓冲堵塞的外侧均设有刚性锥头，所述刚性锥头的锥尖插入所述缓冲堵塞中，所述刚性锥头在外力作用下能够刺穿所述缓冲堵塞对所述石英坩埚施加载荷。 |
