一种含Si
基本信息
| 申请号 | CN202110522516.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113200765A | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN113200765A | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | C04B41/89（2006.01）I;C04B35/573（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;C30B15/10（2006.01）I | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 陈振宇;朱苏华;周娩红 | 申请（专利权）人 | 湖南世鑫新材料有限公司 |
| 代理机构 | 长沙市融智专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵进 |
| 地址 | 412007湖南省株洲市天元区仙月环路899号新马动力创新园2-1期D栋研发厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种含Si3N4和BN复合涂层的碳陶复合材料坩埚及其制备方法，由碳陶坩埚基体依次沉积Si3N4涂层、BN涂层制得。本发明以碳陶坩埚为基体，先在其孔隙和表面（内表面和外表面）沉积Si3N4涂层，然后再沉积BN涂层制得，本发明仅需采用单一坩埚生产单晶硅，通过碳陶坩埚基体、Si3N4涂层和BN涂层三者的协同作用，极大的提升了坩埚的高温稳定性能和抗硅蚀能力，同时坩埚表面对硅的润湿性差，避免了生产单晶硅后的硅晶粘锅难以清理，既延长了坩埚的使用寿命，又减少了坩埚更换频次和提升了单晶硅生产效率。 |
