一种微型定向超声换能器及其加工工艺
基本信息
| 申请号 | CN201710322352.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106960903A | 公开（公告）日 | 2017-07-18 |
| 申请公布号 | CN106960903A | 申请公布日 | 2017-07-18 |
| 分类号 | H01L41/04;H01L41/18;H01L41/22 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐利梅;李学生;秦开宇;谢晓梅;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人 | 成都泰声科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都高远知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 成都泰声科技有限公司 |
| 地址 | 610000 四川省成都市高新区（西区）天目路77号12栋2单元4层425号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种微型定向超声换能器，包括压电材料层，压电材料层顶面设置上电极，压电材料层底面设置下电极，上电极顶面覆盖绝缘层，下电极底面覆盖二氧化硅层，下电极底面通过硅衬底支撑；本发明还公开了该种微型定向超声换能器的加工工艺。本发明具有体积小，易集成，高效能的优点，适于在微型设备上使用；还可采用MEMS技术加工。 |
