一种靶材背板结构
基本信息
| 申请号 | CN201821044039.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208733208U | 公开（公告）日 | 2019-04-12 |
| 申请公布号 | CN208733208U | 申请公布日 | 2019-04-12 |
| 分类号 | C23C14/32;C23C14/35 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 孙伟华 | 申请（专利权）人 | 江苏迪丞光电材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 | 代理人 | 梁永昌 |
| 地址 | 221000 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区环城北路南侧、沂蒙山路西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种靶材背板结构，其结构包括背板结构、承接板、散热铝材和冷媒组件，所述背板结构上设有承接板，所述承接板的下方设有散热铝材，所述散热铝材的下方设有冷媒组件，所述承接板通过散热铝材与冷媒组件固定连接，所述冷媒组件包括冷媒板、冷媒管、冷媒入口、冷媒出口，该一种靶材背板结构，可通过在承接板的下方设置一组散热铝材，再借由底板上的主侧板、副侧板支撑之后，内部的铝片组会与承接板进行接触，对靶材表面产生的温度进行传递，可通过在散热铝材的下方设置一个冷媒组件，冷媒组件在上方冷媒板的表面上设置蛇形弯曲的冷媒管，可对冷媒进行传递，便于对上方散热铝材吸收的热量进行交换，结构简单，易于实现。 |
