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一种凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法

基本信息

申请号	CN202110787060.2	申请日	-
公开（公告）号	CN113354393A	公开（公告）日	2021-09-07
申请公布号	CN113354393A	申请公布日	2021-09-07
分类号	C04B35/01;C04B35/453;C04B35/622;C04B35/624;C23C14/08;C23C14/35	分类	水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
发明人	孔伟华	申请（专利权）人	江苏迪丞光电材料有限公司
代理机构	广州博士科创知识产权代理有限公司	代理人	宋佳
地址	221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区沂蒙山路3号
法律状态	-

摘要

本发明提供一种凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：1）、称取In2O3、Ga2O3、ZnO粉末配备成混合粉体，将去离子水、官能团单体、分散剂、引发剂以及催化剂，分别加入到混合装置内进行湿法球磨混合搅拌均匀形成浆料；2）、将浆料通过注塑机注入模具固化干燥得到IGZO靶材毛坯；3）、将干燥的IGZO靶材毛坯放置于脱脂炉内脱脂；4）、将脱脂后的IGZO靶材毛坯放置于高温烧结炉内烧结；5）、将烧结后的IGZO靶材毛坯进行机械加工；6）、将加工后的IGZO靶材毛坯通过邦定材料邦定在不锈钢管上，得到IGZO旋转靶材。本发明避免了现有技术中因粉浆浇注成型而导致IGZO靶材毛坯密度梯度不均匀易变形的缺陷，达到高效制备IGZO旋转靶材的目的。