利用精密导轨刻划中阶梯光栅的直线度误差补偿方法
基本信息
| 申请号 | CN201610261026.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105806263B | 公开（公告）日 | 2018-05-22 |
| 申请公布号 | CN105806263B | 申请公布日 | 2018-05-22 |
| 分类号 | G01B11/27 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 黄元申;董成成;盛斌;孙乐;倪争技;周红艳;张大伟 | 申请（专利权）人 | 昆山上理工光电信息应用技术研究院有限公司 |
| 代理机构 | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人 | 上海理工大学;昆山上理工光电信息应用技术研究院有限公司 |
| 地址 | 200093 上海市杨浦区军工路516号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种利用精密导轨刻划中阶梯光栅的直线度误差补偿方法，涉及光学器件技术领域，所解决的是无法利用精密导轨刻划中阶梯光栅的技术问题。该方法先测量出精密导轨的直线度累积误差数据，再根据测得的数据绘制出精密导轨直线度累积误差曲线，再根据精密导轨直线度累积误差曲线建立一个一次补偿方程；然后再根据一次补偿方程，测量以一次补偿函数为步进值的精密导轨所刻划出的中阶梯光栅的衍射波前数据，并根据测得的数据绘制出该中阶梯光栅的衍射波前曲线；然后再根据中阶梯光栅的衍射波前曲线，建立一个二次补偿方程；然后采用以二次补偿函数为步进值的精密导轨刻划中阶梯光栅成品。本发明提供的方法，刻划出的中阶梯光栅具有较好的衍射波面。 |
