高红外吸收率的复合膜层结构及热电堆芯片

基本信息

申请号 CN202121747428.4 申请日 -
公开(公告)号 CN216081789U 公开(公告)日 2022-03-18
申请公布号 CN216081789U 申请公布日 2022-03-18
分类号 G01J5/14(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 古瑞琴;杨志博;任红军;郭海周;高胜国 申请(专利权)人 郑州炜盛电子科技有限公司
代理机构 郑州德勤知识产权代理有限公司 代理人 武亚楠
地址 450001河南省郑州市高新技术开发区金梭路299号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种高红外吸收率的复合膜层结构及热电堆芯片,所述高红外吸收率的复合膜层结构包括氮化硅薄膜层,以及位于所述氮化硅薄膜层上表面的二氧化硅薄膜层;所述热电堆芯片包括硅衬底、热氧化层、隔绝层、第一热电偶层、第一绝缘层、第二热电偶层、第二绝缘层、电极焊盘层和所述高红外吸收率的复合膜层结构。本实用新型能够大大提高红外吸收率,并有效降低热导率,在人体辐射波段具有较高的吸收率。