基于太赫兹波的内部缺陷成像方法、电子设备及存储介质

基本信息

申请号 CN202210302242.0 申请日 -
公开(公告)号 CN114689598A 公开(公告)日 2022-07-01
申请公布号 CN114689598A 申请公布日 2022-07-01
分类号 G01N21/88(2006.01)I;G01N21/3581(2014.01)I;G01N21/3563(2014.01)I;G06K9/00(2022.01)I;G06K9/62(2022.01)I 分类 测量;测试;
发明人 梅红伟;刘建军;王黎明;陈大兵;王磊 申请(专利权)人 清华大学深圳国际研究生院
代理机构 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 518055广东省深圳市南山区西丽街道深圳大学城清华校区A栋2楼
法律状态 -

摘要

摘要 一种基于太赫兹波的内部缺陷成像方法、电子设备及计算机可读存储介质,所述方法包括:获取对待测产品的多个检测点进行太赫兹波扫描检测而反射回的多个太赫兹反射波;提取多个太赫兹反射波的波形特征参数;将多个太赫兹反射波的波形特征参数输入至缺陷识别模型,得到每个检测点的缺陷检测结果及缺陷决策值;基于每个检测点的缺陷检测结果生成缺陷成像图,及基于每个检测点的缺陷决策值生成缺陷位置决策图。本发明利用太赫兹波来实现对待测产品的内部缺陷成像,缺陷检测准确性高,且可确定内部缺陷的严重程度。