一种坩埚提升装置
基本信息
| 申请号 | CN201320590582.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203546201U | 公开（公告）日 | 2014-04-16 |
| 申请公布号 | CN203546201U | 申请公布日 | 2014-04-16 |
| 分类号 | C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 吴赛军 | 申请（专利权）人 | 江苏神马铝业有限公司 |
| 代理机构 | 南京天华专利代理有限责任公司 | 代理人 | 江苏南荣科技有限公司;江苏神马铝业有限公司 |
| 地址 | 214264 江苏省无锡市宜兴市芳桥镇工业集中区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种坩埚提升装置，它包括储气罐，在所述储气罐上设有主管道，在所述主管道上设有手动真空角阀，在所述手动真空角阀的一侧主管道上设有真空计，另一侧主管道上设有截止阀，在所述截止阀的一侧主管道上设有电子真空角阀和旋片式真空泵，在所述电子真空角阀和旋片式真空泵之间通过支管设有电磁透气阀，所述坩埚吸盘通过吸盘管道和手动真空角阀相连。本实用新型对坩埚内部抽真空，利用真空压差使坩埚吸附于吸盘之上，可应用于大尺寸坩埚上，使用效果好。 |
