一种酸性蚀刻液再生循环方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN201710258832.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107012466B | 公开（公告）日 | 2018-10-30 |
| 申请公布号 | CN107012466B | 申请公布日 | 2018-10-30 |
| 分类号 | C23F1/46;C25C1/12;C23F1/08;C25C7/00 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 黄天生 | 申请（专利权）人 | 丰顺佳丰电子有限公司 |
| 代理机构 | 广州胜沃园专利代理有限公司 | 代理人 | 张帅 |
| 地址 | 514300 广东省梅州市丰顺县经济开发区工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种酸性蚀刻液再生循环方法，包括：酸性蚀刻液的收集、酸性蚀刻液的过滤调配、超声波辅助电解、铜片分离和阳极液的循环使用等步骤，本酸性蚀刻液再生循环方法采用超声波催化电解并且通过精确调配控制酸性蚀刻电解液的浓度、电解电流密度和电解温度的配合，可以将酸性刻蚀液中的铜离子转化为纯度高达99％的铜片，并且大幅提高铜离子的析出速度，提高生产效率，同时也降低了生产能耗。本发明还提供了一种与酸性蚀刻液再生循环方法相匹配的酸性蚀刻液再生循环系统，采用超声波技术与离子膜技术相结合，不仅可以增强铜离子析出速度，而且可以进一步的提高铜离子析出的纯度，可以得到纯度99.8％以上的高纯度铜片。 |
