12寸晶圆芯片适配环

基本信息

申请号 CN202121722556.3 申请日 -
公开(公告)号 CN215644443U 公开(公告)日 2022-01-25
申请公布号 CN215644443U 申请公布日 2022-01-25
分类号 H01L21/687(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 邹斌 申请(专利权)人 上汽英飞凌汽车功率半导体(上海)有限公司
代理机构 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 吕露
地址 200120上海市中国(上海)自由贸易试验区金吉路33弄2号三层
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种12寸晶圆芯片适配环,属于半导体技术领域。12寸晶圆芯片适配环,应用于12寸晶圆贴片工作台,该适配环包括适配环本体、第一固定定位销、第二固定定位销、第三固定定位销及弹性定位销,适配环本体包括定位面,定位面具有12寸晶圆承载区;第一固定定位销、第二固定定位销、第三固定定位销及弹性定位销共同限定容纳空间,容纳空间用于容纳8寸晶圆芯片适配环;其中,弹性定位销能够在初始状态和工作状态之间切换,以改变容纳空间在第二预设方向的尺寸。12寸晶圆芯片适配环,能够使8寸晶圆同样可以固定在芯片贴装设备的12寸晶圆贴片工作台,适用性强,节省调整时间。