一种适用于大尺寸触摸屏的导电膜专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种适用于大尺寸触摸屏的导电膜

基本信息

申请号	CN202021593265.4	申请日	-
公开（公告）号	CN212365537U	公开（公告）日	2021-01-15
申请公布号	CN212365537U	申请公布日	2021-01-15
分类号	H01B5/14;G06F3/041	分类	基本电气元件;
发明人	郑琦林;巩燕龙;廖晓芮;张红;高峰;张浩;刘月豹	申请（专利权）人	安徽方兴光电新材料科技有限公司
代理机构	昆明合众智信知识产权事务所	代理人	刘静怡
地址	233010 安徽省蚌埠市高新区黄山大道北侧
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种适用于大尺寸触摸屏的导电膜，包括PET基材层，所述PET基材层上方依次设置有非氧化单晶硅层、氮化硅层、SiO₂层和ITO层，所述PET基材层厚度设置为23um，所述非氧化单晶硅层厚度设置为0.9～1.2nm，所述氮化硅层厚度设置为15.9～17.5nm，所述SiO₂层厚度设置为22.8～23.9nm，所述ITO层厚度设置为129～140nm。本实用新型在镀膜前首先进行钛靶轰击，改变膜层表面微型面貌，增加膜层附着力，非氧化单晶硅的引入进一步活化了膜层，为后面溅射打下了坚实的基础，防止膜层过厚导致镀层脱落，科学控制气体在腔室内分布，膜层均匀化最优，成品应用在86寸大尺寸触摸屏上不会出现明显可感的延迟现象。