一种带上料器真空气相沉积炉
基本信息
| 申请号 | CN202010044041.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113124683A | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN113124683A | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | F27B17/00（2006.01）I;F27D3/00（2006.01）I;F27D7/06（2006.01）I;F27D9/00（2006.01）I;F27D11/10（2006.01）I;F27D19/00（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 言伟雄 | 申请（专利权）人 | 株洲弗拉德科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人 | 杨千寻;冯振宁 |
| 地址 | 412000湖南省株洲市天元区黄河南路天台科技园科瑞路12号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出了一种带上料器真空气相沉积炉，所述真空气相沉积炉包括加热炉体、炉体内设有螺旋式上料器，炉身还设有上电极和下电极。所述上电极和下电极分别与射频电源的两个输出电极相连或/和直流电源的两个输出电极相连。各部分受控的气压、气氛、电场、磁场、加热方式组合使用实现对粉体材料的真空气相沉积工艺。具有效率高，反应快速的优点。 |
