场发射电子源针尖的制备装置及其方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

场发射电子源针尖的制备装置及其方法

基本信息

申请号	CN202111404285.1	申请日	-
公开（公告）号	CN114141594A	公开（公告）日	2022-03-04
申请公布号	CN114141594A	申请公布日	2022-03-04
分类号	H01J9/02（2006.01）I;C25F3/02（2006.01）I;C25F7/00（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	魏志猛;李万松;梁晶;邵倩倩;邹文兵;李凌瞳;白生伟;唐爱权;吕绍林	申请（专利权）人	苏州博众仪器科技有限公司
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	王风茹
地址	215200江苏省苏州市吴江经济技术开发区湖心西路666号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种场发射电子源针尖的制备装置及其方法，场发射电子源针尖的制备装置包括控制模块、驱动模块、电解池、通电模块；通电模块包括电源、与电源连接的第一电极和第二电极，第二电极置于电解池的电解液中，第一电极与待腐蚀材料电连接；待腐蚀材料浸入电解液中设定深度后，控制模块控制电源向第一电极和第二电极之间施加第一电压，以及用于在采集的电流信号小于第一设定电流值且大于第二设定电流值时，控制电源向第一电极和所述第二电极之间施加第二电压，第二电压小于第一电压。控制模块根据电流信号控制向第一电极和第二电极间施加的电压减小，使得制备出的电子源针尖的曲率半径更小、形状一致，还可减小放电现象，提高制备出的电子源针尖的精度。