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一种聚光镜装置

基本信息

申请号 CN202220213669.9 申请日 -
公开（公告）号 CN216773173U 公开（公告）日 2022-06-17
申请公布号 CN216773173U 申请公布日 2022-06-17
分类号 H01J37/21（2006.01）I;H01J37/26（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 邵倩倩;周瑞;梁晶;魏志猛;邬大龙;李凌瞳;白生伟;尹克领 申请（专利权）人 苏州博众仪器科技有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 -
地址 215200江苏省苏州市吴江经济技术开发区湖心西路666号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种聚光镜装置，属于聚光镜技术领域。本实用新型的聚光镜装置，包括壳体及设于壳体内且沿第一方向依次设置的第一聚光镜模块和第二聚光镜模块；第一聚光镜模块包括第一钼片和第一调节单元，第一钼片设有多个孔径不同的第一光阑孔；第一调节单元设于壳体，第一钼片设于第一调节单元，第一调节单元能使第一钼片沿第二方向移动，第二方向垂直于第一方向；第二聚光镜模块包括第二钼片和第二调节单元，第二钼片设有多个孔径不同的第二光阑孔；第二调节单元设于壳体，第二钼片设于第二调节单元，第二调节单元能使第二钼片沿第二方向移动。通过调节两个钼片的位置，可使电子束通过不同孔径的光阑孔，进而能扩大电子束的束斑可调范围。