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一种石墨热场改造的新型石墨坩埚

基本信息

申请号 CN201921764970.3 申请日 -
公开（公告）号 CN211620662U 公开（公告）日 2020-10-02
申请公布号 CN211620662U 申请公布日 2020-10-02
分类号 C30B15/10(2006.01)I 分类 -
发明人 方汉春;许寅 申请（专利权）人 浙江矽盛电子有限公司
代理机构 浙江翔隆专利事务所（普通合伙） 代理人 浙江矽盛电子有限公司
地址 321071浙江省衢州市开化县工业园区银辉路８号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种石墨热场改造的新型石墨坩埚，包括加工炉、碳碳坩埚、石英坩埚和中空钢管，所述加工炉的内部固定有隔板，所述隔板的上方固定有支架，所述支架的上端放置碳碳坩埚，所述碳碳坩埚的内侧放置有石英坩埚，所述加工炉的上方卡接有炉盖，所述炉盖内侧的中心点贯穿固定有套管，所述套管的内侧套接有中空钢管，所述中空钢管底端的一侧焊接有第一气管，所述中空钢管底端的另一侧焊接有第二气管，所述中空钢管的顶端通过输气管与空压机固定连接。本实用新型通过设置碳碳坩埚、石英坩埚、空压机、中空钢管、第一气管、第二气管，解决了石墨坩埚的产能低，空间小、成本高和坩埚工作时需要频繁的开炉清灰的问题。