一种硅片料清洗机反应容器
基本信息
| 申请号 | CN201921769396.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210966115U | 公开（公告）日 | 2020-07-10 |
| 申请公布号 | CN210966115U | 申请公布日 | 2020-07-10 |
| 分类号 | B08B3/08(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 李威 | 申请（专利权）人 | 浙江矽盛电子有限公司 |
| 代理机构 | 浙江翔隆专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 浙江矽盛电子有限公司 |
| 地址 | 321071浙江省衢州市开化县工业园区银辉路８号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种硅片料清洗机反应容器，包括滚筒、上料管道和支架，所述滚筒外壁左右位置开设有滑槽，且滚筒上中间位置固定有锯齿，所述上料管道的下端固定有支撑杆，所述上料管道的上端从左到右依次固定有第一计量机构和第二计量机构，所述支架的上端前后对称位置分别固定有转动机构和传动机构，且转动机构包括第一滑轮、第一轴承座、第一齿轮、转动轴和伺服电机，所述支架的前端固定有PLC控制器，且PLC控制器的输出端与伺服电机的输入端电性连接。本实用新型通过设置滚筒、上料管道、第一计量机构、第二计量机构、转动机构和传动机构，解决了清洗机反应容器清洗效果不佳和没有计量功能配置清洗液时耗时耗力的问题。 |
