有机镁化合物及电子器件
基本信息
| 申请号 | CN202111036678.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113461717A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113461717A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | C07F3/02（2006.01）I;H01L33/32（2010.01）I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 杨敏;徐耀中;范光华;李芳芳;刘子伟;徐涛;沈波 | 申请（专利权）人 | 江苏南大光电材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州新知行知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 陈勐哲 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区胜浦平胜路67号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种有机镁化合物，其具有如下结构式（1）表示的结构：结构式（1）该有机镁化合物在工作状态下是液态，具有稳定的高饱和蒸气压，非常适合做半导体掺杂的镁源掺杂剂；在镁源工艺中镁组分分布均匀，提高了外延均匀性和生产工艺稳定性，适合大尺寸衬底外延；另一方面，在镁源使用末期蒸气压也非常稳定，从而提高了使用效率和生产镓动率，降低生产成本，适合大规模量产。 |
