一种抛光液供给装置、抛光头及抛光设备
基本信息
| 申请号 | CN202011326232.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114536209A | 公开（公告）日 | 2022-05-27 |
| 申请公布号 | CN114536209A | 申请公布日 | 2022-05-27 |
| 分类号 | B24B37/07（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 白宗权 | 申请（专利权）人 | 西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 代理机构 | 西安维英格知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 710065陕西省西安市高新区西沣南路1888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种抛光液供给装置、抛光头及抛光设备；所述装置包括：围绕抛光头的头部主体布设于所述抛光头的外壳下部的多个抛光液供给口、为每个所述抛光液供给口提供抛光液输送通道的第一抛光液管道、以及向所述第一抛光液管道提供抛光液的抛光液供给罐；其中，每个所述抛光液供给口均能朝向抛光垫滴加抛光液；每条所述第一抛光液管道根据所述外壳的形状沿竖直方向布设。 |
