硅片分选机

基本信息

申请号 CN202011244903.6 申请日 -
公开(公告)号 CN114453284A 公开(公告)日 2022-05-10
申请公布号 CN114453284A 申请公布日 2022-05-10
分类号 B07C7/04(2006.01)I;G01N15/10(2006.01)I;G01N1/14(2006.01)I 分类 将固体从固体中分离;分选;
发明人 郭盾;张鹏飞 申请(专利权)人 西安奕斯伟材料技术有限公司
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 710065陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种硅片分选机,包括:分选机本体,所述分选机本体上设置有出料口;用于承载硅片盒的承载台,所述承载台的承载面位于所述出料口处;颗粒检测结构,设置于所述分选机本体内,并用于检测所述分选机本体内部环境的颗粒的参数,所述参数包括所述分选机内部环境中颗粒的总数量;报警结构,用于在所述颗粒的参数不满足预设条件时进行报警。