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一种薄膜式尾气氧传感器芯片制备用烘干叠合装置

基本信息

申请号 CN202210149508.2 申请日 -
公开（公告）号 CN114608276A 公开（公告）日 2022-06-10
申请公布号 CN114608276A 申请公布日 2022-06-10
分类号 F26B9/06（2006.01）I;F26B23/10（2006.01）I;F26B25/02（2006.01）I;B32B38/16（2006.01）I 分类 干燥;
发明人 徐坤 申请（专利权）人 江苏同济汽车配件有限公司
代理机构 盐城汇聪知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 -
地址 224000江苏省盐城市经济技术开发区乌江路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种薄膜式尾气氧传感器芯片制备用烘干叠合装置，包括基座，所述基座的顶面固定连接有储水箱，且储水箱的一侧外表面通过法兰盘固定连通有进水管道和出水管道，所述储水箱的顶面固定连接有烘干机构，所述储水箱的一侧内表面固定连接有加热器，所述加热器的底面固定连接有支撑座，且支撑座的底面与基座的顶面固定连接，所述基座的顶面固定连接有控制系统，所述控制系统的一侧外表面滑动连接有支撑架，且支撑架的一侧外表面与基座的顶面固定连接，所述基座的顶面固定连接有支撑块，且支撑块与烘干机构相适配，使得氧化锆基片在叠合过程中的烘干和叠合工序同时自动化进行，使得提高工作的效率。