一种可翻转产品的卧式热壁CVD涂层镀膜机用石墨夹具
基本信息
| 申请号 | CN202020408616.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211734470U | 公开（公告）日 | 2020-10-23 |
| 申请公布号 | CN211734470U | 申请公布日 | 2020-10-23 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 盛锋锋;周李伟;丁柳宁;陈嘉琪;刘超 | 申请（专利权）人 | 浙江六方碳素科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华旭智信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李丽 |
| 地址 | 311800浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道展诚大道78号6号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种可翻转产品的卧式热壁CVD涂层镀膜机用石墨夹具，包括：第一圆环(1)，第二圆环(2)，翻转杆(3)，旋转杆(6)，固定螺丝(7)，第一旋转电机(8)，步进电机(9)，第二旋转电机(10)，升降电机(11)；样品(12)为圆盘形，固定在石墨夹具上，第二圆环置于第一圆环内部并且相互垂直，第一圆环和第二圆环部分固定连接在一起，翻转杆与第一圆环和第二圆环上的圆形通孔适配连接，旋转杆与第一圆环适配连接，第一旋转电机与步进电机均与翻转杆连接，第二旋转电机和升降电机与旋转杆连接，升降电机控制旋转杆的上下伸缩，实现旋转杆与夹具的连接和断开，第二旋转电机带动旋转杆自转。 |
