一种金属表面碳化硅涂层的低温制备装置
基本信息
| 申请号 | CN202110992466.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113699518A | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN113699518A | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | C23C24/08（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 丁柳宁;周李伟;陈凯 | 申请（专利权）人 | 浙江六方碳素科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 311800浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道展诚大道78号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种金属表面碳化硅涂层的低温制备装置，其特征在于：包括中空的反应室、上封块、下封块，在反应室的外侧壁上缠绕有感应线圈，在上封块上设置有输气口和排气口，在反应室的外部设置有涂料混合箱，涂料混合箱内设置有涂料输送泵，在涂料混合箱和下封块之间设置有与反应室连通的输料管和排料管，在涂料混合箱和上封块之间设置有与反应室连通的回料管，输料管上设置有单向阀，在排料管上设置有两位两通电磁阀，回料管上连通有压力表，回料管上设置有压力可调的卸压阀。本发明提供了一种金属表面碳化硅涂层的低温制备装置，使得在金属表面上形成超厚密集的碳化硅涂层，同时，保证工件受热均匀性，降低制备所需的温度。 |
