一种卧式热壁CVD涂层镀膜机用公自转石墨夹具专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种卧式热壁CVD涂层镀膜机用公自转石墨夹具

基本信息

申请号	CN202020407322.9	申请日	-
公开（公告）号	CN211734469U	公开（公告）日	2020-10-23
申请公布号	CN211734469U	申请公布日	2020-10-23
分类号	C23C16/458(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	盛锋锋;周李伟;丁柳宁;刘超	申请（专利权）人	浙江六方碳素科技有限公司
代理机构	北京华旭智信知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	李丽
地址	311800浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道展诚大道78号6号楼
法律状态	-

摘要

本实用新型提供一种卧式热壁CVD涂层镀膜机用公自转石墨夹具，包括：连接块(1)，连接杆(2)，支撑杆(3)，旋转盘(4)，支撑块(5)，旋转杆(6)，第一旋转电机(7)，齿轮旋转杆(8)，第二旋转电机(9)，主动齿轮(10)，从动齿轮(11)，圆盘形产品或样品(12)位于高温炉(13)内，连接块通过连接杆与产品或样品连接，连接块通过支撑杆与从动齿轮固，从动齿轮和主动齿轮的中心突出部放置在旋转盘中心的深孔内，旋转盘固定在支撑块上，支撑块固定在旋转杆上，旋转杆的底部固定在第一旋转电机上，齿轮旋转杆从底部穿过旋转盘、支撑块、旋转杆和第一旋转电机的中空通道与主动齿轮通过螺纹结合，齿轮旋转杆底部与第二旋转电机固定。