镀膜治具

基本信息

申请号 CN202122871032.7 申请日 -
公开(公告)号 CN216378356U 公开(公告)日 2022-04-26
申请公布号 CN216378356U 申请公布日 2022-04-26
分类号 C23C14/24(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 何伟峰;温勇健;刘志雄 申请(专利权)人 重庆佳禾光电科技有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 林玉杰
地址 400900重庆市大足区双桥技术开发区电子信息产业园208栋1-2层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种镀膜治具,包括:下治具,为多边形框架结构;上治具,为与下治具适配的多边形框架结构,上治具可拆卸地设置于下治具上,上治具能够与下治具相互配合以夹持基材;其中,上治具用于抵压基材边缘的区域或者下治具用于抵压基材边缘的区域间隔设置有多个凹槽。通过在上治具用于抵压基材边缘的区域或者下治具用于抵压基材边缘的区域间隔设置多个凹槽,能够减少基材边缘与镀膜治具的接触面积,即能够减少基材边缘受到刚性约束的面积,同时,基材边缘对应凹槽的区域在镀膜的过程中能够自由胀缩,有利于释放基材边缘在镀膜的过程中所产生的应力,从而有利于减少基材边缘在镀膜的过程中应力的集中,进而有利于减小基材的翘曲程度。