一种单晶炉真空管道内壁自动清理装置
基本信息
| 申请号 | CN202120186935.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214211602U | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN214211602U | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | B08B9/047（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 朱伟忠;王昕婷;周杰;沈浩锋;周林伟 | 申请（专利权）人 | 天通吉成机器技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 任美玲 |
| 地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区双联路129号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶炉真空管道内壁自动清理装置，包括固定于有密封圈的真空管道（3）内部的驱动电机、第一端与所述驱动电机的输出轴连接的伸缩机构（2）、与所述伸缩机构（2）的第二端连接的清理刷（1），所述驱动电机能够驱动所述伸缩机构（2）旋转，所述伸缩机构（2）的长度能够沿真空管道（3）轴线方向伸缩，所述清理刷（1）旋转时能够与真空管道（3）的内壁360°接触。应用本实用新型实施例所提供的技术方案，通过单晶炉真空管道内壁自动清理装置将黏着在真空管道内壁的杂质清理下来，并不损坏真空管道内壁，保证真空状态，提高硅棒的质量，不影响真空管道抽真空。 |
