一种用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置
基本信息
申请号 | CN202120187464.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214244665U | 公开(公告)日 | 2021-09-21 |
申请公布号 | CN214244665U | 申请公布日 | 2021-09-21 |
分类号 | C30B15/20(2006.01)I;C30B15/30(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 朱伟忠;王昕婷;周杰;沈浩锋;周林伟 | 申请(专利权)人 | 天通吉成机器技术有限公司 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 任美玲 |
地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区双联路129号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置,包括至少两组具有设定角度的调整机构(3),每组所述调整机构(3)包括固定于单晶炉基架上的安装座、固定于所述安装座上的驱动装置,以及第一端与所述驱动装置的输出轴连接的丝杆,所述丝杆的第二端与单晶炉圆盘(2)的侧壁固定连接,钨丝绳(1)从所述圆盘(2)的中心孔穿过,所述驱动装置能够驱动所述丝杆沿其轴线方向移动。应用本实用新型实施例所提供的技术方案,钨丝绳的位置通过调整装置来调整,以此使钨丝绳与转动中心保持较高的同心度,以保证晶体生长过程的稳定性及晶体质量;通过调整装置控制,省时省力,效率较高,对中精准度较高。 |
