适用于蓝宝石抛光的化学机械抛光液
基本信息
| 申请号 | CN201810561828.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108997940B | 公开（公告）日 | 2021-01-19 |
| 申请公布号 | CN108997940B | 申请公布日 | 2021-01-19 |
| 分类号 | C09G1/02;B24B29/00 | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 张泽芳;彭诗月 | 申请（专利权）人 | 南京银行股份有限公司上海分行 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 张新鑫;许亦琳 |
| 地址 | 201799 上海市青浦区青安路958、968号4幢3层S区329室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种蓝宝石衬底抛光的氧化铝基的化学机械抛光液及其用途，所述化学机械抛光液至少包括以下重量份的组分：氧化铝抛光颗粒：35～55份；氧化剂：5～12份；优选为7~10份；速率促进剂0.1～10份；分散剂2～5份；优选为3~4份；pH调节剂适量，水适量。从机械角度和化学角度提高了抛光液的抛光速率，此外，氧化铝分散性好，降低了表面缺陷如划痕等的发生率，提高了表面质量。 |
