柔性气体传感器与其制作方法
基本信息
申请号 | CN201710180271.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN108627543B | 公开(公告)日 | 2022-02-01 |
申请公布号 | CN108627543B | 申请公布日 | 2022-02-01 |
分类号 | G01N27/00(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 李硕;徐重阳 | 申请(专利权)人 | 张家港康得新光电材料有限公司 |
代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 赵囡囡;吴贵明 |
地址 | 215634江苏省苏州市张家港市晨港路85号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请提供了一种柔性气体传感器与其制作方法。该柔性气体传感器包括柔性基底、OFET阵列感应模块以及控制及处理电路模块,其中,OFET阵列感应模块设置在柔性基底的第一表面上,且OFET阵列感应模块包括多个并联的不同的OFET,OFET阵列感应模块用于感知气体并将产生的气体信号输出;控制及处理电路模块设置在第一表面上,且与OFET阵列感应模块电连接,用于控制OFET阵列感应模块的工作以及对OFET阵列感应模块输出的气体信号进行处理。该气体传感器的柔性较好,能够很好地应用在曲面或者其他特殊形状的结构中。 |
