一种屏下阴极材料的去除系统及去除方法
基本信息
| 申请号 | CN202210015146.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114346446A | 公开（公告）日 | 2022-04-15 |
| 申请公布号 | CN114346446A | 申请公布日 | 2022-04-15 |
| 分类号 | B23K26/36（2014.01）I;B23K26/04（2014.01）I;B23K26/06（2014.01）I;B23K26/073（2006.01）I | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 白丹妮 | 申请（专利权）人 | 珠海东辉半导体装备有限公司 |
| 代理机构 | 北京华际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 邓大文 |
| 地址 | 519000广东省珠海市高新区唐家湾镇金园一路6号5栋1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种屏下阴极材料的去除系统，包括：激光发射器，激光发射器用于发射激光；二维可调狭缝组件，二维可调狭缝组件用于将激光整形为矩形光斑或线形光斑；管镜，管镜位于二维可调狭缝组件远离激光发射器的一端，用于将矩形光斑或线形光斑进行聚焦；物镜，物镜位于管镜远离二维可调狭缝组件的一端，用于将聚焦后的矩形光斑或线形光斑进行成像；真空腔体，真空腔体位于物镜远离管镜的一端，其内部用于放置屏体。本发明在真空环境下，利用精确可调节的红外激光能量和重力作用，使冗余的阴极材料脱离屏体，且超快激光脉宽极短，热效应小，可实现“冷加工”，从而可实现精准的选择性加工，又可避免对阴极层相邻结构造成热损伤和破坏。 |
