多功能水性环保可循环利用晶硅精密切割液

基本信息

申请号 CN201310143231.3 申请日 -
公开(公告)号 CN103242944A 公开(公告)日 2013-08-14
申请公布号 CN103242944A 申请公布日 2013-08-14
分类号 C10M173/02(2006.01)I;C10M169/04(2006.01)I;C10N30/06(2006.01)N;C10N30/04(2006.01)N 分类 石油、煤气及炼焦工业;含一氧化碳的工业气体;燃料;润滑剂;泥煤;
发明人 蔡建跃 申请(专利权)人 上海晔宗光伏科技有限公司
代理机构 上海汉声知识产权代理有限公司 代理人 上海晔宗光伏科技有限公司;江苏晔宗环保科技有限公司
地址 201104 上海市闵行区莲花南路755号第33幢南侧东区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种多功能水性环保可循环利用晶硅精密切割液。其包含式(I)所示结构的聚醚链烷醇胺梳状聚合物A、式(II)所示结构的环氧乙烷和环氧丙烷反向共聚聚醚B和式(III)所示结构的脂肪族环氧乙烷和环氧丙烷衍生物低泡表面活性剂C作为必需成分;与现有技术相比,本发明的切割液具有适用面广,润滑性能优异,分散效果好,低温中不结冰及可循环使用且起泡趋势低等特点,同时还具有较好的耐腐蚀性和对水与硅反应有良好的抑制作用;可应用于半导体单晶硅、多晶硅、蓝宝石、陶瓷、硬脆性材料等开方、精密切片加工工艺中。