基于人工智能的晶体生长分析方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN202010502352.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113130017A | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN113130017A | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | G16C20/70（2019.01）I | 分类 | 物理 |
| 发明人 | 程章勇;张云伟;陈颖超;杨丽雯;何丽娟;李百泉;靳丽婕;李天运;韦玉平;王丽君 | 申请（专利权）人 | 北京世纪金光半导体有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区通惠干渠路17号院 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了基于人工智能的晶体生长分析方法及系统。具体涉及到晶体生长领域，尤其是碳化硅晶体生长领域。该发明主要分为试验、仿真、人工智能三部分。试验是数据最可靠的来源，也是验证人工智能分析、仿真分析的有效方法；仿真是对试验数据的补充，也是分析晶体生长的重要辅助方法；人工智能主要用于提取参数中的特征数据并分析、评估，界定晶体生长范围的方法。这样有利于构建一个分析、评价、评估、验证晶体生长状况，也可以界定晶体生长边界条件。 |
