压电式MEMS扬声器基本特性的数值仿真分析方法
基本信息
| 申请号 | CN201910587590.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110442907A | 公开（公告）日 | 2019-11-12 |
| 申请公布号 | CN110442907A | 申请公布日 | 2019-11-12 |
| 分类号 | G06F17/50（2006.01）I; H04R29/00（2006.01）I; H04R19/00（2006.01）I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 李陆化; 徐楚林; 温周斌; 陆晓; 岳磊; 计敏君 | 申请（专利权）人 | 浙江中科电声研发中心 |
| 代理机构 | 杭州君度专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 沈志良 |
| 地址 | 314100 浙江省嘉兴市嘉善县魏塘镇晋阳东路568号科创中心1号楼1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了压电式MEMS扬声器基本特性的数值仿真分析方法，该方法包括以下几个步骤：1)建立MEMS扬声器仿真几何模型；2)设置物理场和边界条件，它包括在“固体力学”、“电场”、“压力声学，频域”和“热粘性声学，频域”物理场中分别设置材料模型、压电本构关系、阻尼、约束条件、阻抗边界和电压载荷等；3)定义材料参数；4)设置网格类型和尺寸，并划分网格。5)求解计算：分别采用“频域”和“特征频率”研究对该有限元模型进行求解；6)结果后处理：通过后处理得到该压电式MEMS扬声器的声压级频响曲线、声压和声压级分布图、电容值随频率的变化关系、振动部件上应力/应变/位移/速度/加速度的大小和分布图，以及该MEMS扬声器的共振频率和振型。 |
