一种用于检测石英舟的装置
基本信息
| 申请号 | CN202021339564.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212274847U | 公开（公告）日 | 2021-01-01 |
| 申请公布号 | CN212274847U | 申请公布日 | 2021-01-01 |
| 分类号 | G01B5/28;G01B5/245;G01B5/252;G01B5/06;G01B5/14 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 蓝呈 | 申请（专利权）人 | 上海强华实业股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201507 上海市金山区漕泾镇亭卫公路3312号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于检测石英舟的装置，包括水平放置的检测台、以及放置于检测台上的高度尺、标准校验块和石英舟；所述高度尺水平放置于检测台上，高度尺的游标上通过连接杆与平板连接，所述标准校验块放置于平板的下方，平板通过沿高度尺下滑至标准校验块的顶面来校对平面度和高度尺寸；所述石英舟水平放置于检测台上，校对后的平板沿高度尺推入石英舟的槽齿中，以验证石英舟的精度。本实用新型在高度尺的基础上增加连接杆、平板和标准校验块。平板通过连接杆与高度尺连接，与标准校验块校对高度，平面度后。进行模拟硅片使用状态对石英舟4根槽棒垂直度，槽齿的平面度，精度尺寸检测。检测成本低、检测时间短，检测步骤简便，尺寸精度高。 |
