一种等离子电源的射频方法
基本信息
| 申请号 | CN201910909515.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112522670A | 公开（公告）日 | 2021-03-19 |
| 申请公布号 | CN112522670A | 申请公布日 | 2021-03-19 |
| 分类号 | C23C14/06(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 颜朝阳 | 申请（专利权）人 | 湖南普莱思迈电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 410200湖南省长沙市望城区旺旺东路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及等离子电源技术领域，且公开了一种等离子电源的射频方法，操作步骤如下：等离子电源中采用射频溅射技术，且配备相应的匹配网络，并将工作气压降低；在射频溅射的过程中，为了获得高能量的摄像靶面的正离子流，置于放电中的靶子的表面必须有较高的负电位；在气体溅射过程中，该等离子电源的射频方法，通过将放电中的靶子的表面附加较高的负电位，从而吸引离子区中正离子向靶子移动，从而聚集大量的电荷，以施加粒子动能，而溅射气体中混合氧、氮、甲烷或一氧化氮、硫化氮等物质，会使气体浓度变低，从而提高溅射速率，且通过计算靶子与阳极罩之间的距离，调节粒子正确的移动空间，从而让粒子获得大量的动能。 |
