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一种加速度传感器及其制作方法

基本信息

申请号	CN201610032044.1	申请日	-
公开（公告）号	CN105675921B	公开（公告）日	2018-10-26
申请公布号	CN105675921B	申请公布日	2018-10-26
分类号	G01P15/125;G01P21/00	分类	测量；测试;
发明人	周志健;朱二辉;陈磊;杨力建;邝国华	申请（专利权）人	上海芯赫科技有限公司
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	广东合微集成电路技术有限公司
地址	523808 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区新竹路4号新竹苑6幢办公501
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种加速度传感器及其制作方法，所述方法包括：在衬底中形成空腔和位于所述空腔上方的与衬底绝缘并依次相互绝缘连接的第一悬空薄膜、第二悬空薄膜和第三悬空薄膜；在所述第一悬空薄膜上形成与之电连接的第一电极，在所述第二悬空薄膜上形成与之电连接的第二电极，在所述第三悬空薄膜上形成与之电连接的第三电极，以及在衬底上方形成与之电连接的第四电极；形成扭转梁结构，所述第一悬空薄膜、第二悬空薄膜和第三悬空薄膜通过所述扭转梁结构与所述衬底连接，且所述第一悬空薄膜和第二悬空薄膜沿所述扭转梁结构对称；所述第一悬空薄膜和第二悬空薄膜与所述衬底形成差分电容式检测结构；所述第三悬空薄膜与所述衬底构成晶圆级检测电容结构,实现了晶圆级自检测功能，避免采用离心机测试，降低了由于加速度传感器失效造成的成本损失。