一种电容式复合传感器及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201610590821.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106290985B | 公开（公告）日 | 2019-04-12 |
| 申请公布号 | CN106290985B | 申请公布日 | 2019-04-12 |
| 分类号 | G01P15/125;G01P15/08;G01L1/14 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 朱二辉;周志健;陈磊;杨力建;邝国华 | 申请（专利权）人 | 上海芯赫科技有限公司 |
| 代理机构 | 广东莞信律师事务所 | 代理人 | 广东合微集成电路技术有限公司;上海芯赫科技有限公司 |
| 地址 | 523000 广东省东莞松山湖高新技术产业开发区新竹路4号新竹苑6幢办公501 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种电容式复合传感器，包括压力传感器、加速度传感器，其加速度传感器包括质量块，以及至少一个过载限位装置，过载限位装置由限位挡板和连接件组成，限位挡板一端与晶圆硅衬底相连，一端自由；连接件一端与晶圆硅衬底相连，一端与质量块相连。本发明还提供一种电容式复合传感器的制造方法。其压力传感器敏感膜厚度、加速度传感器限位挡板的厚度及限位距离由刻蚀工艺的刻蚀深度决定，整个晶圆的加工一致性好，加速度传感器采用机械限位结构，省去电学限位结构的复杂控制IC，从而保证限位过载保护的精确性，利于成品小型化。 |
