一种电容式压力传感器及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201610031110.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105890827B | 公开（公告）日 | 2019-05-21 |
| 申请公布号 | CN105890827B | 申请公布日 | 2019-05-21 |
| 分类号 | G01L1/14（2006.01）I; G01L9/12（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 周志健; 朱二辉; 陈磊; 杨力建; 邝国华 | 申请（专利权）人 | 上海芯赫科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 广东合微集成电路技术有限公司 |
| 地址 | 523808 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区新竹路4号新竹苑6幢办公501 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种电容式压力传感器及其制造方法。方法包括：在衬底中形成空腔和位于空腔上方的悬空薄膜，其中，悬空薄膜与衬底间形成第一凹槽，且通过第一凹槽间隙结构连接；进行电隔离处理，形成表面电隔离层；表面电隔离层上形成掩膜层；图形化刻蚀掩膜层和表面电隔离层，在悬空薄膜上方以及衬底上形成第二凹槽；导电层填充并覆盖第二凹槽；刻蚀导电层和掩膜层，形成电隔离沟槽；沉积绝缘层，并刻蚀绝缘层，形成分别并位于悬空薄膜上方以及衬底上方的第三凹槽；用第一电极和第二电极分别填充覆盖悬空薄膜上方以及衬底上方对应的第三凹槽。实现了工艺流程简单且可以避免粘附现象,可靠性高的效果。 |
