一种含有自检测功能的面内压阻式加速度传感器及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201610589538.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106093471B | 公开（公告）日 | 2019-06-21 |
| 申请公布号 | CN106093471B | 申请公布日 | 2019-06-21 |
| 分类号 | G01P15/12（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 周志健; 朱二辉; 陈磊; 杨力建; 邝国华 | 申请（专利权）人 | 上海芯赫科技有限公司 |
| 代理机构 | 广东莞信律师事务所 | 代理人 | 广东合微集成电路技术有限公司 |
| 地址 | 523000 广东省东莞松山湖高新技术产业开发区新竹路4号新竹苑6幢办公501 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种含有自检测功能的面内压阻式加速度传感器，基于SOI晶圆制作，所述的SOI晶圆依次设置有衬底、中间氧化层、器件层，采用侧面掺杂，在加速度传感器的部分悬臂梁侧壁形成压阻条，部分悬臂梁侧壁形成自检测电极；侧壁形成的压阻条可以减小轴向串扰，自检测的方式是利用静电力模拟加速度输入引起的加速度传感器悬臂梁产生的形变，从而检测加速度传感器的性能，检测方式完全与IC检测探针台兼容。采用正面释放加速度传感器，加工一致性高，器件面积小。本发明还提供了一种含有自检测功能的面内压阻式加速度传感器的制作方法，实现可以进行晶圆级自检测的面内压阻式加速度传感器的结构与加工工艺。 |
