纳米激光直写物镜
基本信息
| 申请号 | CN202110750181.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113448179A | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN113448179A | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I;G02B13/18（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 黄木旺;刘旭;匡翠方;林法官 | 申请（专利权）人 | 福建福特科光电股份有限公司 |
| 代理机构 | 福州市众韬专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈智雄 |
| 地址 | 310063浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及镜头领域，特别为一种纳米激光直写物镜。包括沿光线入射方向依次设置的负光焦度的第一群组、正光焦度的第二群组、光阑、以及正光焦度的第三群组；其中各群组的焦距满足以下关系：0.65＜|fA/fB|＜3.5；4.0＜|fB/fC|＜15.0；‑120mm＜fA＜‑40mm；40mm＜fB＜80mm；5mm＜fC＜15mm，其中：fA为第一群组的焦距，fB为第二群组的焦距，fC为第三群组的焦距。本发明提供一种数值孔径NA至1.3左右且高分辨率的纳米激光直写物镜，该物镜为无限远复消色差类型系统，且无需使用超半球镜片，便于物镜的加工，能降低物镜的制造成本。 |
