一种基于混合位移传感器和平面电机的位移装置
基本信息
| 申请号 | CN201920154965.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209767305U | 公开（公告）日 | 2019-12-10 |
| 申请公布号 | CN209767305U | 申请公布日 | 2019-12-10 |
| 分类号 | H02K7/00（2006.01）; H02K1/12（2006.01）; H02K3/28（2006.01）; H02K11/21（2016.01）; H02K11/22（2016.01） | 分类 | 发电、变电或配电; |
| 发明人 | 丁晨阳; 李涵雄; 张国旗; 李平; 陈椿元; 吴晓辉 | 申请（专利权）人 | 苏州隐冠半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京得信知识产权代理有限公司 | 代理人 | 广东极迅精密仪器有限公司 |
| 地址 | 528222 广东省佛山市南海区狮山镇南海软件科技园内佛高科技智库中心A座科研楼A312-21室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种基于混合位移传感器和平面电机的位移装置，其包括工作台和定子，其中定子设计有一个工作区域并且定子包括磁体块系统，工作台沿第三方向(Z)可移动地与定子邻接配置，工作台包括电机线圈系统，电机线圈系统与磁体块系统作用，使工作台在工作区范围内产生六个自由度的位移，还包括多个长距离无接触位移传感器和多个短距离无接触位移传感器，长距离无接触位移传感器安装在定子上，通过多个长距离无接触位移传感器的反馈信号得出工作台沿第一方向(X)和第二方向(Y)平动以及绕第三方向(Z)转动的三个自由度运动的位移，短距离无接触位移传感器沿第三方向(Z)安装在工作台上，指向定子，用于测量工作台和定子的间距。 |
