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一种位移装置

基本信息

申请号	CN201711477956.0	申请日	-
公开（公告）号	CN109991814B	公开（公告）日	2019-07-09
申请公布号	CN109991814B	申请公布日	2019-07-09
分类号	G03F7/20(2006.01)I;H02K41/035(2006.01)I	分类	-
发明人	丁晨阳	申请（专利权）人	苏州隐冠半导体技术有限公司
代理机构	北京得信知识产权代理有限公司	代理人	广东极迅精密仪器有限公司
地址	528222广东省佛山市南海区狮山镇南海软件科技园内佛高科技智库中心A座科研楼A312-21室
法律状态	-

摘要

本发明公开一种位移装置，其具有：定子磁体阵列，其包括第一磁体和第二磁体，所述第一磁体和所述第二磁体在第一平面内周期性排列；以及动子，其至少包括由第一X线圈组成的第一X线圈阵列和由第一Y线圈组成的第一Y线圈阵列，所述第一X线圈阵列的主体部分配置在与所述第一平面大致平行的第一导体层内，所述第一Y线圈阵列的主体部分配置在与所述第一平面大致平行的第二导体层内，所述第一导体层和所述第二导体层沿与所述第一平面垂直的方向离开一定间距而配置，所述第一X线圈包括一对在第一方向上延伸的第一XX导体和一对在与所述第一方向大致垂直的第二方向上延伸的第一XY导体，所述第一方向和所述第二方向均与所述第一平面大致平行，所述第一X线圈中，一对所述第一XX导体中的至少一个配置在所述第二导体层中，一对所述第一XY导体均配置在所述第一导体层中。