一种高精度微变间距吸盘装置
基本信息
| 申请号 | CN202120648884.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214588793U | 公开（公告）日 | 2021-11-02 |
| 申请公布号 | CN214588793U | 申请公布日 | 2021-11-02 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 衣振洲;金鹏;姜启龙;王宾;丁军帅 | 申请（专利权）人 | 连智（大连）智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 大连智高专利事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 张钦 |
| 地址 | 116033辽宁省大连市甘井子区虹港路2号5-6层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于光伏装置技术领域，公开了一种高精度微变间距吸盘装置。包括变间距吸盘机构、驱动机构、真空机构、支架机构，所述变间距吸盘机构设置在支架机构上，变间距吸盘机构上方连接有真空机构，所述变间距吸盘机构的一侧连接驱动机构；在将硅片从流转用花篮搬运到工作用花篮过程中，通过改变吸盘的间距，实现对硅片进行精准的微变间距操作。 |
