掺杂金属Na的靶材、背面电极层制备方法和CIGS太阳能电池
基本信息
| 申请号 | CN201910345493.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110079767A | 公开（公告）日 | 2019-08-02 |
| 申请公布号 | CN110079767A | 申请公布日 | 2019-08-02 |
| 分类号 | C23C14/08（2006.01）I; C23C14/18（2006.01）I; C23C14/34（2006.01）I; C23C14/35（2006.01）I; H01L31/0224（2006.01）I; H01L31/048（2014.01）I; H01L31/0749（2012.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王磊; 张准 | 申请（专利权）人 | 潮州市亿加光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京天达知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 侯永帅;和欢庆 |
| 地址 | 521000 广东省潮州市潮安县凤塘镇凤岗牛头山工业区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种掺杂金属Na的靶材、背面电极层制备方法和CIGS太阳能电池，属于CIGS太阳能电池技术，解决现有技术中在CIGS层或背面电极层中掺杂Na化合物会引入新的杂质元素的问题。本发明的掺杂金属Na的靶材，包括第一靶材和第二靶材，第一靶材包括层叠的第一Mo层和第一Na掺杂层，第二靶材包括层叠的第二Mo层和第二Na掺杂层；第一Mo层和第二Mo层采用金属Mo制成，第一Na掺杂层和第二Na掺杂层采用金属Mo中掺杂金属Na制成；第一Na掺杂层的Na掺杂量大于第二Na掺杂层的Na掺杂量。本发明的掺杂金属Na的靶材、背面电极层制备方法和CIGS太阳能电池可用于太阳能发电。 |
