一种微米级电子束焦斑尺寸的光学测量装置及其方法
基本信息
| 申请号 | CN201110338355.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102538670B | 公开（公告）日 | 2015-04-22 |
| 申请公布号 | CN102538670B | 申请公布日 | 2015-04-22 |
| 分类号 | G01B11/00(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 严瑗;钟伟杰;张学渊;夏忠平;赵健 | 申请（专利权）人 | 上海显恒光电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海精晟知识产权代理有限公司 | 代理人 | 上海显恒光电科技股份有限公司;苏州天目光学科技有限公司 |
| 地址 | 200233 上海市徐汇区宜山路829号6幢504室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及电子技术领域，具体涉及一种光学测量装置及其方法。一种微米级电子束焦斑尺寸的光学测量方法，电子束束斑轰击半导体面板，半导体面板自发辐射，发出光束，利用光学测量方式测量光束的光强信息，进而得到电子束束斑。有益效果：由于采用上述技术方案，本发明的光学测量方法的实现方便、操作简单，具有测量速度快、溅射因素影响小、测量数据直观特点。 |
