拉晶炉的冷却装置以及拉晶炉
基本信息
| 申请号 | CN202021535395.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214168186U | 公开（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申请公布号 | CN214168186U | 申请公布日 | 2021-09-10 |
| 分类号 | C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 沈伟民;王刚 | 申请（专利权）人 | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海思捷知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王宏婧 |
| 地址 | 201306上海市浦东新区泥城镇云水路1000号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种拉晶炉的冷却装置和拉晶炉，其中所述拉晶炉的冷却装置包括至少一个具有中空结构的管道，所述中空结构中容纳有冷却液，所述管道位于拉晶炉的腔室中，所述管道的管壁上形成有多个凸起和/或多个凹陷。即所述冷却装置通过在管壁上形成凸起和/或凹陷，增加了换热面积，从而提高了冷却液的换热效率，降低了晶体的温度以及增加了晶体的温度梯度，因此，晶体的生长速度也得以提高。 |
